আয়ন বিম এচিং মেশিনের প্রযুক্তিগত বৈশিষ্ট্য

1. এচিং চেম্বারের চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম ডিগ্রি: 9 এর কম বা সমান।{2}}×10-5Pa;
2. এচিং উপকরণ: সিলিকন, কোয়ার্টজ, III.-V যৌগ, সিরামিক এবং বিভিন্ন ধাতু, অ ধাতব হার্ড ফিল্ম, ইত্যাদি;
3. এচিং রেট: 10 nm ~ 200 nm / মিনিটের চেয়ে বেশি বা সমান (নির্দিষ্ট এচিং উপাদান এবং প্রক্রিয়ার উপর নির্ভর করে);
4. আয়ন উত্স: Φ150 মিমি ব্যাস বৃত্তাকার ডিসি আয়ন উত্স;
5. Ar+ আয়ন শক্তি পরিসীমা: 100~1000 eV;
6. আয়ন বিমের ঘনত্ব: 0~1 mA/cm2।