আয়ন বিম এচিং প্রযুক্তি হল একটি অতি-সূক্ষ্ম প্রক্রিয়াকরণ প্রযুক্তি যা 20 শতকের 70 এর দশক থেকে সাব-মাইক্রন লাইন প্রস্থের দিক থেকে কঠিন ডিভাইসগুলির বিকাশের সাথে উদ্ভূত হয়েছিল, যা শক্ত পৃষ্ঠের উপর আয়ন রশ্মি বোমাবাজির স্পুটারিং প্রভাব ব্যবহার করে প্রক্রিয়াকৃত ডিভাইসে প্রয়োজনীয় জ্যামিতি।
মেশিনিং, রাসায়নিক ক্ষয়, প্লাজমা জারা, প্লাজমা স্পুটারিং এবং অন্যান্য প্রক্রিয়াগুলির সাথে তুলনা করে, আয়ন বিম এচিং এর নিম্নলিখিত বৈশিষ্ট্য রয়েছে:
(1) এটি প্রক্রিয়াজাত উপকরণগুলির জন্য অ-নির্বাচিত, এবং কন্ডাক্টর, সেমিকন্ডাক্টর এবং ইনসুলেটর সহ যে কোনও উপাদান খোদাই করা যেতে পারে।
(2) এটির অতি-সূক্ষ্ম প্রক্রিয়াকরণ ক্ষমতা রয়েছে। এটি খুব সূক্ষ্ম গ্রুভ প্যাটার্ন এচিং করতে সক্ষম, যা মাইক্রন এবং সাব-মাইক্রন পরিসরে রয়েছে এবং এমনকি 0.008 μm এর মতো ছোট রেখাগুলিও খোদাই করতে পারে৷
(3) এচিং ভাল দিকনির্দেশনা এবং উচ্চ রেজোলিউশন আছে. এর নমুনা একটি ভ্যাকুয়ামে একটি কলিমেটেড আয়ন রশ্মি দ্বারা দিকনির্দেশনামূলকভাবে বোমাবাজি করা হয়, যা একটি দিকনির্দেশক এচিং যা রাসায়নিক ভেজা প্রক্রিয়াকরণে অনিবার্য ড্রিলিং এবং এচিং ঘটনাকে অতিক্রম করতে পারে এবং এচড প্যাটার্নের প্রান্তটি তীক্ষ্ণ এবং পরিষ্কার। উচ্চ রেজল্যুশন. নির্ভুলতা 0.1~0 পৌঁছতে পারে৷{5}}1μm, এবং পৃষ্ঠের রুক্ষতা 0.05μm-এর চেয়ে ভাল৷
(4) নমনীয় প্রক্রিয়াযোগ্যতা এবং ভাল পুনরাবৃত্তিযোগ্যতা। যেহেতু বিমের ঘনত্ব, শক্তি, ঘটনা কোণ, ওয়ার্কপিস টেবিলের গতি বা ঘূর্ণন গতি এবং আয়ন বিমের অন্যান্য কাজের পরামিতিগুলি মোটামুটি বিস্তৃত পরিসরে স্বাধীনভাবে এবং সঠিকভাবে নিয়ন্ত্রণ করা যেতে পারে, তাই বিভিন্ন নমুনার জন্য সর্বোত্তম প্রক্রিয়াকরণের শর্তগুলি পাওয়া সহজ। , যা শুধুমাত্র লাইনের পাশের প্রাচীরের ঢাল নিয়ন্ত্রণ করতে পারে না, তবে একটি নির্দিষ্ট ফাংশন অনুযায়ী পরিবর্তন করার জন্য খাঁজের গভীরতাও নিয়ন্ত্রণ করতে পারে (একটি নির্দিষ্ট ফাংশন অনুযায়ী পরিবর্তিত খাঁজের গভীরতাকে গভীরতা ওজন বলা হয়)।
(5) আয়ন রশ্মি এচিং এর অসুবিধা হল যে ছিটকে পড়া পদার্থের পুনঃ জমা (পুনরায় জমা করার প্রভাব) একটি ঘটনা আছে। এটি অনুশীলনে সুরাহা করা প্রয়োজন।